氮化錳的主要應用

氮化錳中間合金產品的研究對金屬錳深加工產業具有重要的現實意義及經濟價值。由于錳、氮的各種作用，在煉制高強度鋼、不銹鋼、耐熱鋼時需要同時加人錳、氮元素。以單質形式加入錳、氮兩種元素時，存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺點。然而，以氮錳化合物形式加入時，不僅易于加入，并且錳、氮的利用率也高，因此研究氮化錳的制備工藝有著重要意義，同時，氮化錳制品市場前景遠大。

氮化錳的主要應用
    傳統的Mn基阻擋層主要通過PVD共沉積CuMn復合材料，然后使用熱退火處理 使Mn擴散至介質表面來實現。但是，在退火過程中，Cu與low-k（比如SiCOH）介質直接接觸， 將會導致Cu在介質材料中擴散；而且形成的MnSixOy薄膜導電性較差，一般為絕緣體，會導致 RC延遲增加。
     CN201810068633。4克服了傳統方法制備的Mn基阻擋層的不足，提出一種導電性良好，薄膜厚度精確可控，薄膜的組成和厚度均勻，且可以在三維結構中實現均勻覆蓋的MnxNy薄膜（其中x和y分別代表Mn和N在薄膜中的相對原子比）制備方法，并且與目前集成電路后道 Cu互連技術相兼容，具有很好的市場應用前景。
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